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產品介紹

1. 尺寸 100cm(D)*150cm(L)*188cm(H)
2. 卡匣 5 個(2 進 2 出)1NG/6 寸，8 寸
3. 檢驗臺機構：COGNEX 相機 OCR 總成，鏡頭分辨率 ≥500 萬畫素
4. 機器人(Robot)1 臺，日本不二越 6 軸
5. 三菱 PLC，三菱伺服馬達，MW 變壓器
6. 設備重量：300kg
7. 電源規(guī)格：220v/24v
8. 使用負氣壓：10-2 次方 TORR， 正氣壓5/kg(SMC 靜電消除設備)
9. 通訊：乙太網絡，具備 SECS 通信模塊及對應通訊功能
10. 本機適用于 6/8 英寸晶圓片